ELA系列超精密直線伺服氣浮平臺
瀏覽：6,749 發(fā)布日期：2021-10-08?
由一派數(shù)控與德國AeroLas聯(lián)合開發(fā)的ELA系列超精密平臺，是以直線電機為驅(qū)動，微孔氣浮導(dǎo)軌為支撐，控制精度在0.5～0.1微米的多軸運動平臺，是高端電子、光學、芯片等工業(yè)領(lǐng)域精密加工和精密檢測的首選伺服裝置。其顯著特點是：
●所有運動部件均無接觸摩擦，無過定位；
●所有運動軸系布置在一個平面上，最大限度地提高平臺結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性和工件移動時的平面度。
ELA系列主要技術(shù)參數(shù)：
|
技術(shù)指標描述 |
X/Y行程 |
X/Y速度 |
X/Y軸加速度 |
X/Y軸絕對定位精度 |
X/Y軸重復(fù)定位精度 |
單軸直線度 |
C軸轉(zhuǎn)角 |
C軸轉(zhuǎn)角絕對定位精度 |
C軸轉(zhuǎn)角重復(fù)定位精度 |
工作平面的平面度 |
|
技術(shù)參數(shù) |
300X300mm |
0.05~1m/s |
2g |
0.4um?? (有補償) |
0.2um |
±1um?? (有效行程) |
360° |
±1.5角秒 |
±1角秒 |
0.5um |
|
各單項可實現(xiàn)的最高指標 |
4000X2500mm |
4m/s |
5g |
0.25um(與測量控制系統(tǒng)有關(guān)) |
0.02um（與測量控制系統(tǒng)有關(guān)） |
±0.5um? (有效行程) |
360° |
±1.5角秒 |
±1角秒 |
0.3um |