技術特點
- 永磁同步直線電機驅動
- 行程：1380*1250mm
- X軸負載：8kg；Y負載：150kg
- 定位精度：±2um
- 光柵尺精度：1um
- 最大速度：1.5m/s
- 最大加速度：1g
- 大理石基座
- 重量：1000kg
應用領域：
激光加工，印刷等領域
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技術特點
- U型直線電機驅動，無推力波動
- 長*寬*高(mm)：810*670*190mm
- 行程(mm)：300*300mm
- 定位精度：±2um
- 光柵尺精度：0.5um
- 最大速度：1m/s
- 最大加速度：1g
- 大理石基座
- 重量：240kg
應用領域：
激光加工，LED焊接等領域
]]>●所有運動部件均無接觸摩擦，無過定位；
●所有運動軸系布置在一個平面上，最大限度地提高平臺結構的穩定性和工件移動時的平面度。
ELA系列主要技術參數：
|
技術指標描述 |
X/Y行程 |
X/Y速度 |
X/Y軸加速度 |
X/Y軸絕對定位精度 |
X/Y軸重復定位精度 |
單軸直線度 |
C軸轉角 |
C軸轉角絕對定位精度 |
C軸轉角重復定位精度 |
工作平面的平面度 |
|
技術參數 |
300X300mm |
0.05~1m/s |
2g |
0.4um?? (有補償) |
0.2um |
±1um?? (有效行程) |
360° |
±1.5角秒 |
±1角秒 |
0.5um |
|
各單項可實現的最高指標 |
4000X2500mm |
4m/s |
5g |
0.25um(與測量控制系統有關) |
0.02um（與測量控制系統有關） |
±0.5um? (有效行程) |
360° |
±1.5角秒 |
±1角秒 |
0.3um |
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